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發明專利
一種SiC單晶片拋光方法

國家知識產權局備案機構

一種SiC單晶片拋光方法
出售價格:
面議
專利/申請號:
CN202110870849.4
專利權人:
河南科技學院
專利類型:
發明專利
有效期限:
2021-07-20 至 2041-07-19
法律狀態:
授權維持
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專利詳情

本發明公開一種SiC單晶片拋光方法,采用含有還原劑、氧化劑、催化劑等化學物質的拋光墊,在拋光壓力的作用下,SiC單晶片與拋光墊表面的凸峰相接觸,產生摩擦及摩擦熱,還原劑釋放出氧氣,在催化劑及摩擦熱等的作用下,氧氣與SiC單晶片表面發生氧化反應,在表面生成一層SiO2層,然后由具有自退讓功能的磨粒去除;此過程交替進行,實現SiC單晶片表面全局被平坦化。由于采用具有自退讓功能的磨粒,磨粒能夠隨拋光壓力的變化而上下退讓,當磨粒尺寸不一致或磨粒的凸刃高度不同時,通過磨粒的自退讓性,使得加工中磨粒的凸刃高度隨壓力的變化而變化,控制加工中每個磨粒的切深。拋光后SiC單晶片表面質量高,成本低,廢物排放低。

交易流程

1、選定專利:顧問一對一服務,幫助買家選中所需專利,并確認賣家專利可交易;

2、簽訂合同:買賣雙方與顧問協商交易細節,簽訂合同;

3、支付款項:買家依合同約定支付交易款項到運營平臺;

4、提供材料:買賣雙方需要提供《專利代理委托書》、《轉讓協議》、《解聘書》等材料給辦理轉讓手續方;

5、辦理手續:辦理轉讓手續方提交材料至國家知識產權局辦理轉讓手續,國家知識產權局最快半個月左右下發專利轉讓《手續合格通知書》;

6、證書交接:買家確認收到《專利證書》、專利轉讓《手續合格通知書》原件,確認無誤。

7、交易完成:平臺把交易款項支付給賣家,至此專利轉讓業務完成。

安全保障

保障一:對于在本平臺交易的交易品,均由我平臺驗證交易品的有效性;

保障二:客戶通過本平臺交易,由我平臺核實并確保買賣雙方身份信息真實有效;

保障三:通過本平臺交易,買家支付交易款項給本平臺,由本平臺監控交易流程,待確認交易完成后支付交易款項給賣家,全程資金代管,保障買賣雙方資金安全;

保障四:通過本平臺交易,由我平臺代辦國家手續,辦理過程公開透明,進度隨時查詢,確保交易真實可靠。

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企業營業執照復印件并加蓋公章

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身份證復印件并簽字

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